第一章 (第30/36页)
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他话音刚落!
监控画面中,破晓一号内部,那束标志性的紫红色光线骤然亮起!精准地投射在高速移动的硅晶圆上!激光定位!对准!曝光!一气呵成!晶圆台以肉眼难以捕捉的速度精确移动!一块块芯片在激光下被蚀刻成型!
整个光刻过程,被高清摄像机实时捕捉,放大在巨幕上!流畅!稳定!精准得令人窒息!
台下死寂一片!所有人都屏住了呼吸!温宁克、刘德音、李在镕等人的脸色,从最初的轻蔑,到惊愕,再到难以置信的苍白!
几分钟后。一枚刚刚完成光刻、还带着余温的晶圆,被机械臂取出,送入检测台。
高清显微镜画面接入大屏幕!晶圆表面,一枚枚指甲盖大小的芯片清晰可见!上面密密麻麻的晶体管结构,如同微缩的城市!线条清晰!边缘锐利!没有明显的缺陷和错位!
良品率初步检测…林风看着旁边屏幕跳出的数据,…92.7%。
轰——!!!
台下瞬间炸了!92.7%!对于首次量产7纳米芯片来说,这简直是神话般的数字!ASML最先进的机器,初期良品率也不过如此!
不可能!温宁克失态地站起身,指着屏幕,数据造假!一定是造假!