第164章 “烛龙”奋起惊“宙宇”,“旧神”落子乱“棋局” (第2/5页)
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然而,李班加的心中,却始终萦绕着一丝淡淡的不安。他知道,“奥林匹斯黄昏”那些真正的“执棋者”,绝不会如此轻易地善罢甘休。他们此刻的“沉默”,更像是在为下一次更猛烈的“风暴”,积蓄着力量。
而那场风暴的“风眼”,毫无疑问,就是决定未来数十年全球科技与产业命脉的——euv光刻机技术!
“女娲计划”的核心研发基地——代号“烛龙巢”的绝密实验室,此刻正灯火通明,气氛紧张而肃穆。
林逸轩博士、石文固副总裁,以及数十位从全球“三顾茅庐”请来的、平均年龄超过五十岁(其中甚至有几位是已退休的“国宝级”院士和“隐世”大国工匠)的顶尖科学家和工程师们,正目不转睛地盯着那台经过无数次迭代优化、核心部件几乎全部替换为“xx集团自主研发”的【烛龙之眼(euv光源原型机·可进化)】。
在过去的八个月里,这台原型机,在【工部(神匠级)】“未来科技树定向解锁”和“颠覆性核心技术瓶颈突破加速”两大“神技”的轮番“催熟”下(李班加为此又陆续投入了近千万两白银和数点天命点),其核心性能指标,已经取得了数次“量子跃迁”般的突破!
尤其是其光源功率、能量稳定性、以及脉冲频率,均已达到了甚至在某些关键参数上,超越了当前asl最先进的商用euv光源的水平!
而今天,将是它与那套同样由xx集团自主研发的、集成了“超高数值孔径(high-na)物镜系统(雏形)”和“超高精度磁悬浮双工件台系统(工程验证版)”的“女娲一号光刻验证平台”,进行首次联调联试,并尝试在特制的硅晶圆上,刻蚀出7纳米及以下线宽测试图形的关键时刻!
“所有系统自检完毕!”
“光源能量已达到预设阈值,稳定性100!”
“工件台定位精度已达皮米级,真空环境已达极限!”