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“500KW!”
“稳定!!”
实验室内,爆发出沸腾般的欢呼声。
500KW的稳定输出功率,已经足够让光源从193纳米的短波紫外线,提升到13.5纳米的极紫外线!
也就是说,这项技术不仅是激光器供电模块的提升,甚至还直接影响到了最先进极紫外光刻机的研究!
一时间,众人仿佛还在梦中,幸福来的太过突然。
汪洪涛的心怦怦直跳,一手捏着速效救心丸的瓶子,颤抖地对刘丽开口问道:“小刘,对方自称他这个激光器最大功率是多少?”
刘丽如梦初醒,连忙颤抖着回答道:“他……他说是680KW!”